单晶炉用螺杆真空泵组

性能优势 Performance Advantages

· 无油气污染工艺设备，可获得清洁零件表面；

· 被抽气体不会被污染，为期可进行回收利用；

· 无油气、油烟等有害气体排放，有利于环境?；?；

· 避免因泵腔内润滑油乳化、变质而出现的运行故障，提高了系统的稳定性；

· 可单独使用，进气压力在1Pa至大气压下均能正常工作，抽气效率高，可大幅度简化真空系统；

· 机组可作为前级泵使用，与罗茨泵、分子泵等组合成多级无油真空机组，以获得更大与更高的真空度；

· 转子间无接触、无磨损，零件损耗小，使用寿命长；

· 泵腔内采用间隙密封，对少量粉尘不敏感；

· 智能控制模式，实时监测设备运行状态，并针对异常情况做出报警；

· ?？榛杓?，整机体积小，方便移动；

· 可变频运行，节能效果好；

· 采用一体化水冷电机设计，运行噪音低，震动??；

机组内容  Unit Content